اینتل تلاش می‌کند در سال‌های پیش رو لیتوگرافی‌های جدیدی نظیر 20A (معادل ۲ نانومتر) و 18A (معادل ۱٫۸ نانومتر) را وارد خط تولید پردازنده کند. این شرکت در سال ۲۰۲۱ با پردازنده‌های سری آلدر لیک سراغ لیتوگرافی ۱۰ نانومتری Intel 7 رفت و سپس بار دیگر در پردازنده‌های رپتور لیک، سفایر رپیدز، Xe-HP و Xe-HPC از این لیتوگرافی استفاده کرد. بر اساس گزارش Wccftech، اینتل قصد دارد در نیمه‌ی نخست سال آینده‌ی میلادی شماری از لیتوگرافی‌های جدیدش را وارد تولید انبوه کند.
اینتل همچنان فرایند تحقیق‌و‌توسعه‌ی لیتوگرافی Intel 4 (کلاس هفت نانومتری) را ادامه می‌دهد و احتمالاً اولین بار در پردازنده‌های میتیور لیک و گرانیت رپیدز از این لیتوگرافی استفاده می‌کند.
گفته می‌شود به‌لطف استفاده از فناوری EUV، عملکرد به ازای وات (PPW) لیتوگرافی Intel 4 به‌میزان ۲۰ درصد بهتر از Intel 7 خواهد بود. در ادامه اینتل به شیوه‌ی گسترده‌تری از فناوری EUV در لیتوگرافی Intel 3 استفاده می‌کند و افزایش عملکرد به ازای وات را به ۱۸ درصد می‌رساند.
اینتل سپس از طریق اسکنرهای پیشرفته‌ی EUV ساخته‌شده توسط شرکت ASML، لیتوگرافی‌های Intel 20A و Intel 18A را روی کار می‌آورد تا پردازنده‌هایی با ترانزیستورهای ۲ نانومتری و ۱٫۸ نانومتری تولید شوند.
ASML پیش‌بینی کرده است که تولید پردازنده‌های یک نانومتری تا سال ۲۰۲۸ امکان‌پذیر شود. تا قبل از روی کار آمدن این لیتوگرافی، اینتل احتمالاً پردازنده‌هایی برپایه‌ی لیتوگرافی 14A (معادل ۱٫۴ نانومتر) تولید خواهد کرد.
استفاده از دستگاه‌های EUV هزینه‌ی تولید پردازنده را بالا می‌برد و احتمالاً اینتل در نهایت هزینه‌ی اضافی را به مشتریان تحمیل می‌کند. در حال حاضر هر اسکنر EUV با قیمت نزدیک به ۱۵۰ میلیون دلار فروخته می‌شود. احتمالاً قیمت مدل‌های پیشرفته‌تر به ۴۰۰ میلیون دلار نیز خواهد رسید.
